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全自動硅片刻蝕下料機控制系統設計.doc

資料分類:設計作品 上傳會員:小木匠 更新時間:2019-11-20
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摘要:隨著當代科技的發展,電氣控制技術越來越廣泛地應用于各個行業。本文設計了一套基于PLC的刻蝕硅片下料機控制系統,闡述了硅片下料機的發展背景,分析其功能與特點,設計總體方案;選用型號為CKT-B1-0D10AA的伺服驅動器和40CKTMA2-0D10DKA的伺服電機,Y07-59D1-17155的步進電機和DH556的步進驅動器,設計了排片整理機構,導片機構,下片換籃機構等處理機構,以歐姆龍CP1H型PLC為控制器,以CX-Programmer為編程軟件,設計了系統控制程序,包括公共傳輸程序,緩沖入片程序,裝籃程序,換籃程序等。

 

關鍵詞 硅片刻蝕下料機;PLC;伺服驅動器

 

目錄

摘要

Abstract

1 緒論-1

1.1 課題背景及意義-1

1.2 課題主要內容-1

2 系統硬件設計-3

2.1 下料機流程示意圖-3

2.2 系統總體框圖-4

2.3 電氣控制系統-5

2.4 硅片刻蝕下料機的工作原理-5

2.4.1 工作過程-5

2.4.2 控制系統主電路設計-5

2.5 PLC選型-6

2.5.1 PLC控制特點-6

2.5.2 PLC選擇-7

2.5.3 歐姆龍CP1H概述-8

2.6 PLC的I/O資源配置-9

2.7 其他資源配置-15

2.7.1 傳感器選擇-15

2.7.2 氣缸選擇-16

2.7.3 電磁閥選擇-16

2.7.4 伺服系統選擇-17

2.7.5 步進系統選擇-18

3 系統軟件設計-22

3.1 總體流程設計-22

3.2 程序設計的方法-22

3.3程序選析-23

4 MCGS仿真-26

4.1 MCGS概述-27

4.2 MCGS軟件組成-27

4.3 硅片下料基于MCGS的仿真-28

4.3.1 硅片下料程序的調試與下載-28

4.3.2 MCGS仿真-29

結論-33

致謝-34

參考文獻-35

附錄-36

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